Rotierendes Nioboxid-Target

Derzeit ist das Nioboxid-Planar-Target das auf dem Markt am häufigsten verwendete Nioboxid-Planar-Target, obwohl die Herstellungstechnologie von Planar-Targets immer ausgereifter wird, die Nutzungsrate von Planar-Targets im Verwendungsprozess nur 20-30 Prozent beträgt ist, wird das meiste Target verschwendet, wodurch die Produktionskosten praktisch erhöht werden. Um die Nutzungsrate des Zielmaterials zu verbessern und die Produktionskosten des Unternehmens zu senken, begannen die Leute, neue Zieltypen zu untersuchen, und stellten fest, dass die Nutzungsrate des rotierenden Ziels sehr hoch ist und 70-80 Prozent erreichen kann , und die hohe Auslastung kann die Kosten für nachgelagerte Produkte senken und gleichzeitig umweltfreundlicher und materialsparender sein.

Gegenwärtig wird bei der Herstellung von rotierenden Nioboxid-Targets hauptsächlich ein Sprühverfahren angewendet, und das durch dieses Verfahren hergestellte Target ist weniger dicht, im Allgemeinen weniger als 80 Prozent, was leicht zu Entzündung und Schlacke im Verwendungsprozess führen kann, was in wiederum beeinflusst die Qualität und Ausbeute der nachgelagerten Produkte; Darüber hinaus ist die Höhe des durch das Heißpressverfahren hergestellten Niob-Targets, begrenzt durch die Größe des Heißpressofens und die Größe der Graphitform, gering, im Allgemeinen weniger als 100 mm, und für das rotierende Leder E mit einer Länge von { {2}}, ist es normalerweise notwendig, 15 Rohrtargets mit einer Höhe von 10 mm zu spleißen, bevor sie verwendet werden können, was zu mehr Nähten führt und die Qualität des Beschichtungsprodukts beeinträchtigt. Aufgrund der oben genannten Mängel verwenden einige Hersteller mit hohen Anforderungen an die Sputterqualität auf dem Markt ausländische rotierende Targets, die teuer sind und häufig von Menschen beansprucht werden. Daher ist es dringend erforderlich, ein Verfahren zur Herstellung hochkompakter rotierender Targets zu entwickeln, um der gegenwärtig wachsenden Marktnachfrage gerecht zu werden.

Unser Unternehmen kann die Mängel der bestehenden Technologie überwinden und ein rotierendes Nioboxid-Target mit hoher Dichte und guter Leitfähigkeit bereitstellen. Durch die Nanobehandlung des Rohmaterialpulvers wird die Partikelgröße des metallischen Niobpulvers deutlich verringert und die Verteilung des metallischen Niobpulvers im Nioboxidpulver wird gleichmäßiger, so dass die Leitfähigkeit des Zielmaterials höher ist. Zusätzlich wird der Atmosphären-Sinterbehandlungsschritt übernommen, um die Dichte des Zielmaterials durch segmentiertes Erhitzen weiter zu erhöhen. Darüber hinaus kann die Dicke des Zielrohlings gemäß den Anforderungen frei eingestellt werden, und es besteht keine Notwendigkeit für einen Trennprozess wie bei dem durch das Heißpressverfahren hergestellten Zielrohling, was die Produktionseffizienz erheblich verbessern kann; Darüber hinaus wird dieses Verfahren im Vergleich zum Heißpressverfahren zur Herstellung von rotierenden Nioboxid-Targets, die aufgrund der Begrenzung der Gerätegröße für Defekte der Höhe des Targetmaterials < 10="" mm="" anfällig="" sind,="" nicht="" von="" der="" größe="" des="" geräts="" beeinflusst.="" und="" verschiedene="" größen="" von="" zielen="" können="" durch="" verwendung="" verschiedener="" formen="" erhalten="" werden,="" und="" die="" höhe="" des="" zielmaterials="" kann="" mehr="" als="" 300="" mm="">

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