Die größten Sputtertarget-Fabriken der Welt produzieren derzeit Sputtertargets aus Aluminiumlegierungen in zwei separaten Prozessen. Wird durch Sprühformen hergestellt. Nach anerkannten Guss- und Schmiedetechniken führt die Zugabe von Legierungsmaterialien bei der Herstellung von Sputtertargets aus Aluminiumlegierung häufig zu einer Entmischung der Targets, was wiederum die Qualität der Sputterfilme verringert und es wahrscheinlich zur Bildung von Mikropartikeln kommt auf der Oberfläche des Sputtertargets, was auch die gleichmäßige Verteilung der Eigenschaften des Films verändert.
Obwohl die oben aufgeführten damit verbundenen Probleme vermieden werden können, wird das Sputtertarget aus einer Aluminiumlegierung dennoch hergestellt, wenn es mit dem bekannten Sprühformungsverfahren hergestellt wird. Die Produktionskosten steigen erheblich, insbesondere bei der Herstellung einiger Sputtertargets, die schwer zu schmieden sind und den Einsatz von Heißausgleich erfordern.
Bei dieser Technik werden Gassprühpulver zur Herstellung von Sputtertargets aus einer Aluminiumlegierung verwendet, wodurch die Herstellung von Targets aus einer Titan-Aluminium-Legierung einfacher und kostengünstiger wird. Das Legierungspulver wird im Vergleich zum Rohmaterialpulver des Sputtertargets gesiebt, um die richtige Pulverpartikelgröße zu erhalten, und dann wird das Pulver im Vakuum heißgepresst, um das Sputtertarget aus Aluminiumlegierung zu erzeugen. Die Herstellung verschiedener Sputtertargets aus Aluminiumlegierung (Aluminium- Chrom, Aluminium-Silizium-Kupfer, Aluminium-Titan usw.) können mit dieser Methode zur Herstellung von Sputtertargets aus Aluminiumlegierungen mit Luftsprühpulver erreicht werden.
Das empfohlene Verfahren zur Umsetzung besteht darin, zunächst Metallrohstoffe für die Herstellung von Sputtertargets aus Aluminiumlegierung bereitzustellen und diese zu geschmolzenem Metall zu schmelzen. Als nächstes stellen Sie mithilfe der Gassprühmethode Metallpulver aus der Metallschmelze her. und schließlich die Metallpulver im Vakuum erhitzen. Es wird zu einer Aluminiumlegierung geformt, die zerstäubt und ein Inertgas als Schutzgas durchdringt. Mit diesem Verfahren können hochwertige Sputtertargets schneller und kostengünstiger hergestellt werden, während die Nachteile von Materialentmischung und Mikropartikeln vermieden werden.
