Das Zielmaterial hat einen breiten Markt, vielfältige nützliche Einsatzmöglichkeiten und eine vielversprechende Zukunft. Lassen Sie uns kurz die primären Leistungsanforderungen des Zielmaterials durchgehen, damit Sie die Leistung des Materials besser verstehen können. Ich hoffe aufrichtig, dass es für Sie nützlich sein wird.
Reinheit: Da die Reinheit des Targets einen erheblichen Einfluss auf die Leistung des Films hat, ist die Reinheit eines der wichtigsten Leistungsmaßstäbe des Targets. Die Reinheitskriterien des Targetmaterials unterscheiden sich jedoch in der praktischen Anwendung, beispielsweise die Größe von Silizium Aufgrund der schnellen Expansion der Mikroelektronikindustrie ist die Größe der Wafer von 6'', 8'' auf 12'' gestiegen, und die Verdrahtungsbreite ist von 0,5 µm auf 0,25 µm, 0 gestiegen. 0,18 µm oder sogar 0 0,13 µm, zuvor 99. Eine angestrebte Reinheit von 995 % kann die Anforderungen des 0 0,35 µmIC-Verfahrens erfüllen, wohingegen 99 für die Herstellung von 0 0,18 µm erforderlich sind Linie.99,9999 % oder sogar 999 %.
Verunreinigungsgehalt: Die Hauptquellen für die Verschmutzung des abgeschiedenen Films sind Verunreinigungen im Zielfeststoff sowie Sauerstoff und Wasserdampf in den Poren. Unterschiedliche Ziele erfordern aus verschiedenen Gründen unterschiedliche Verunreinigungsgehalte. Beispielsweise gelten im Halbleitersektor spezifische Standards für die Konzentration von radioaktive Elemente und Alkalimetalle in Zielen aus reinem Aluminium und Aluminiumlegierungen.
Dichte: Das Targetmaterial muss typischerweise eine höhere Dichte aufweisen, um die Poren im Feststoff zu verringern und die Funktionalität des gesputterten Films zu erhöhen. Die elektrischen und optischen Eigenschaften des Films werden auch durch die Dichte des Targetmaterials beeinflusst. zusätzlich zur Sputterrate. Die Leistung des Films steigt mit der Targetdichte. Die Fähigkeit des Targetmaterials, die Hitzebelastung während des Sputterprozesses zu überstehen, wird auch durch Erhöhung seiner Dichte und Festigkeit verbessert. Eine der wichtigsten Leistungskennzahlen des Targets ist die Dichte.
