Vanadium ist ein silbergraues Metall mit einer Dichte von 6,11 g/cm3und einem Schmelzpunkt von 1919±2 Grad. Es ist ein seltenes Metall mit einem hohen Schmelzpunkt. Bei der Herstellung integrierter Schaltkreise wird im Allgemeinen reines Gold als leitfähige Oberflächenschicht verwendet, aber Gold- und Siliziumwafer neigen dazu, AuSi-Verbindungen mit niedrigem Schmelzpunkt zu bilden, was zu einer schwachen Bindung zwischen den Gold- und Siliziumschnittstellen führt.
Aus diesem Grund wird der Oberfläche der Gold- und Siliziumwafer eine Verbindungsschicht hinzugefügt. Als Verbindungsschicht wird häufig reines Nickel verwendet, es kommt jedoch auch zwischen der Nickelschicht und der leitenden Goldschicht zu Diffusion. Aus diesem Grund ist eine Sperrschicht erforderlich, um eine Diffusion zwischen der leitenden Goldschicht und der Nickelverbindungsschicht zu verhindern.
Die Sperrschicht muss aus einem Metall mit hohem Schmelzpunkt bestehen und einer hohen Stromdichte standhalten. Hochreines Vanadium kann diese Anforderung erfüllen. Hochreines Vanadium hat außerdem eine gute Formbarkeit und kann bei Raumtemperatur zu Platten, Folien und Drähten gewalzt werden.
Herstellungsprozess eines Vanadiumtargets
1. Schneiden Sie den Vanadiumbarren mit der erforderlichen Reinheit entsprechend der Zielgröße mit einer Horizontalsäge, wärmen Sie ihn auf 450-500 Grad vor, schmieden Sie ihn dann und kontrollieren Sie die Gesamtverformungsrate des Schmiedens auf 70-80 %;
2. Glühen Sie den geschmiedeten Vanadiumbarren bei einer Temperatur von 400-500 Grad und einer Haltezeit von 60-120 Minuten und kühlen Sie ihn dann durch Luftkühlung ab.
3. Walzen Sie den geglühten Vanadiumbarren, und kontrollieren Sie den Pressgrad bei jedem Durchgang auf 0,5-1 mm, und kontrollieren Sie die Gesamtverformung auf 70-80 %, bis der Vanadium-Zielrohling mit dem erforderlichen Durchmesser und der erforderlichen Dicke erreicht ist;
4. Glühen Sie den gewalzten Vanadium-Zielrohling erneut bei einer Temperatur von 450 Grad -550 Grad und einer Haltezeit von 90-150 Minuten. Nach dem erneuten Glühen kühlen Sie ihn mit Wasser ab, um den erforderlichen hochreinen Vanadium-Zielrohling zu erhalten. Der auf diese Weise hergestellte Vanadium-Zielrohling hat nicht nur eine gleichmäßige innere Struktur, sondern bietet auch die Vorteile feiner Körner.
Zusätzlich zu Vanadiumtargets können wir auch Sputtertargets wie Nickel-Vanadium-Legierungen, Kobalt-Vanadium-Legierungen, Titan-Aluminium-Vanadium-Legierungen, Eisen-Vanadium-Germanium-Legierungen, Kobalt-Eisen-Vanadium-Silizium-Legierungen und Vanadiumpentoxid bereitstellen.
