Ta-Sputtertarget

Yusheng-Metall-Tantal-Sputtertarget-Produktionsprozess
Die Tantal-Sputtertargetprodukte von Yusheng Metal werden aus Tantalbarren mithilfe von EB-Elektronenbeschuss, Walz- und Glühverfahren verarbeitet. Die durch dieses Verfahren hergestellten Targets weisen eine einheitliche Kristallstruktur, Textur und Energieverteilung sowie eine gute innere Struktur auf.

In den letzten Jahren ist der Umfang der IC-Industrie (Integrated Circuit) weiter gewachsen, und auch die Chip-Prozesstechnologie hat sich in Richtung hoher Dichte entwickelt. Tantal wird aufgrund seiner hohen chemischen Stabilität häufig als Sputterbeschichtungsmaterial für die Diffusionsbarriereschicht im Kupferverbindungsprozess verwendet. Die gleichmäßige Mikrostruktur von Tantal-Sputtertargets hat einen direkten Einfluss auf die Sputterleistung.

Tantalum targets require fine and uniform grains, randomly dispersed grain orientation, and excellent film manufacturing performance. However, due to the properties of tantalum, a microstructure can easily form during cold working with a core orientation of 111 (111>/ND) and a surface orientation of 100 (100>/ND). Bei der Herstellung dünner Schichten ändert sich die Sputterrate abhängig von der Targetdicke, was sich auf die Stabilität des Sputterprozesses auswirkt.

Ta-Sputtertarget-Prinzip

Tantal wird aufgrund seiner Fähigkeit zur Bildung dünner Oxide und der schützenden Wirkung der Oxidschicht häufig bei der Herstellung von Elektrolytkondensatoren verwendet. In den frühen Stadien der Tantalabscheidung wurde die Verdampfung eingesetzt, aber als sich in den späten 1960er Jahren physikalische Dampfabscheidungstechniken wie die Sputterbeschichtung als überlegene Methoden für die Dünnschichtabscheidung herausstellten, ersetzten sie die Verdampfung.

Beim physikalischen Gasphasenabscheidungsprozess treffen ionisierte Argonatome mithilfe elektromagnetischer Mechanik auf das Target und schlagen die Metalltargetatome nieder. Die Metalltargetatome werden auf dem Substrat abgeschieden und bilden einen dünnen Film.

Tantal-Sputtertarget

Tantaltarge

Yusheng-Metallproduktionsausrüstung

Yusheng Metal verfügt über einen kompletten Satz wissenschaftlicher Forschungs-, Produktions-, Test-, Vertriebs- und Servicesysteme vom Schmelzen, Schmieden, Warmwalzen, Kaltwalzen und Veredeln bis hin zu fertigen Materialien. Es verfügt über einen elektronischen 350-kW-Bombardierungsofen, eine 2000-Tonnen-Hydraulikpresse, einen 1700-mm-Vakuumglühofen sowie eine 42-kW- und zwei 15-kW-Präzisionsschmiedemaschinen, 14 Fertigbandwalzwerke, LDD120, LDD-40, LDD{{8} }, LDD-8 Doppellinien-Rohrwalzwerk, 2-Walzen-500T-Stanzwerk, 4 Kaltwalzwerke, 6 Kaltwalzwerke Maschine, 15 kW doppelseitige Drahtziehmaschine, Zylinderschleifmaschine, Schälmaschine, Flachschleifmaschine und eine Reihe von Geräten.

Anwendung eines Tantal-Sputtertargets

Das Tantal-Sputtertargetmaterial besteht aus druckverarbeiteten Tantalblechen und zeichnet sich durch hohe Reinheit, feine Körner, gute Rekristallisationsstruktur und gute dreiachsige Konsistenz aus.
Tantal-Sputtertargets werden häufig in der Optoelektronik- und Halbleiterindustrie eingesetzt. Sie werden hauptsächlich zur Sputterabscheidung von Kathodenzerstäubungsbeschichtungen, aktiven Hochvakuumsaugmaterialien, optischen Fasern, Halbleiterwafern, integrierten Schaltkreisen usw. verwendet. Sie sind ein wichtiger Bestandteil der Dünnschichttechnologie.

 

Baoji Yusheng Metall Technologie Co., Ltd.ist ein globaler Lieferant von Verarbeitungsteilen für Tantal, Niob, Vanadium, Zirkonium und Hafnium aus seltenem Gold. Es werden hauptsächlich Drähte, Stäbe, Platten, Rohre, Ringe, Tiegel usw. und andere nicht standardmäßige Spezialverarbeitungsteile hergestellt. Wir werden regelmäßig Informationen zu den Produkten und Materialdisziplinen unseres Unternehmens veröffentlichen, die die gesamte Kette der Forschung und Entwicklung im Bereich Materialtechnologie, die Industrialisierung von Materialleistungen, die Anwendung und Förderung von Materialprodukten, die Agglomeration der Materialindustrie und die Ökologie der Materialindustrie abdecken. Gerne können Sie uns jederzeit kontaktieren.

 

 

Kontaktieren Sie uns

Verkaufsleiter:

Kontakt: Li Fengwu

Email: kd@tantalumysjs.com

Tel: 13379388917

Fax: 0917-3139100

Postleitzahl: 721013

Web:https://www.tantalumysjs.com/

Hinzufügen: Industriegebiet Wenquan Village, Entwicklungszone Gaoxin, Stadt Baoji, Provinz Shaanxi, China

 

 

 

Beliebte label: Ta-Sputtertarget, Lieferanten, Hersteller, Fabrik, kundenspezifisch, Kauf, Preis, Angebot, Qualität, zu verkaufen, auf Lager