Heute besprechen wir die Kammerbedingungen, den letzten Faktor, der die Entstehung großflächiger Beschichtungen beeinflusst. Das Zielmaterial selbst weist Probleme mit Qualität, Form, Kristallorientierung und anderen Faktoren auf. Der Hauptunterschied zwischen den aktuellen Faktoren und den zuvor genannten besteht darin, dass die aktuellen Faktoren ausschließlich einen äußeren Zustand und nicht das Zielmaterial selbst betreffen.
Der anschließende Editor wird Ihnen vollständig erklären, wie sich die Bedingungen der Kammer auf die Filmbildung des Ziels auswirken.
Unabhängig davon, ob die Kavität sauber oder unrein ist oder ob der Produktionsprozess zu lange dauert, adsorbieren mehr Verunreinigungen an der Oberfläche der Kavität. Diese Verunreinigungen treten während des Herstellungsprozesses auf und haften an der Oberfläche des Targets. Während des Sputtervorgangs können sich im konvexen Bereich Ladungen aufbauen, die die Größe der Knötchen erhöhen und zu einer erheblichen Entladung führen, die ebenfalls Auswirkungen hat Einfluss auf die Qualität des Films.
Darüber hinaus kann das durch die Reaktion erzeugte nichtleitende Sputtern an der Oberfläche des Zielmaterials haften bleiben und Knötchen bilden, wenn in der Kammer ein leichtes Luftleck vorliegt, was die Effizienz und Gleichmäßigkeit der Filmerzeugung verringert. Daher ist die Verwendung von Das Ziel wird stark von den Bedingungen der Kammer beeinflusst.
Am Anfang lässt sich die Ablagerung leicht entfernen, indem man das Target mit reinem Argon verbrennt. Wenn dagegen nicht vorgegangen wird, nimmt die Ablagerung mit der Zeit zu und führt zu erheblicher Lichtbogenbildung, die sich auf die Produktion auswirkt. Das Target sollte mit einem starken Argon gebrannt werden Strom vor jeder Produktion, um etwaige Verunreinigungen von der Oberfläche zu entfernen. Um eine saubere Umgebung für die Beschichtung zu gewährleisten, wird die Vakuumkammer regelmäßig poliert, abgesaugt und abgewischt. Das Beutelnetz wird außerdem sandgestrahlt, um alle daran haftenden Metallreaktanten zu entfernen.
Die Verwendung des Targetmaterials wird durch die Umgebung der Beschichtungskammer beeinflusst, was sich auch auf die Qualität des Films auswirkt. Die meisten Menschen konzentrieren sich während des Beschichtungsprozesses auf das Target selbst und ignorieren die Kammerbedingungen, daher gelegentlich einen erheblichen Teil davon Dadurch wird eine unbefriedigende Beschichtung verursacht. Ich hoffe, Freunde sollten sich nach der Lektüre dieses Aufsatzes über die Kammerbedingungen im Klaren sein!
