Targets aus Molybdänlegierungen, die als Verdrahtungs- und Elektrodenmaterialien für Flachbildschirme wie LCDs (Flüssigkristallanzeigen) und PDPs verwendet werden, haben in den letzten Jahren zunehmend an Aufmerksamkeit gewonnen. Basierend auf dieser Erkenntnis ist das Molybdän-Niob-Target die erste Molybdänlegierung Zielmaterial, das in großem Umfang eingesetzt werden soll. Infolgedessen steigt die Marktnachfrage nach rotierenden Targets aus Molybdän-Niob stetig.
Targets für Molybdän und Niob haben typischerweise einen Niobgehalt von 5–10 %. Typischerweise wird zu ihrer Herstellung Sintern eingesetzt. Das Sintern von Niob wird häufig in Vakuumsinteranlagen durchgeführt, da es während des Vorgangs zu einer offensichtlichen Wasserstoffabsorption kommt. Allerdings kann das mit der herkömmlichen Produktionstechnik hergestellte Molybdän-Niob-Target die hohen Qualitätsstandards des sich schnell entwickelnden Flachbildschirmsektors nicht erfüllen .
Die folgenden Schritte sind bei der Verarbeitung der Molybdän-Niob-Legierung erforderlich:
Die Molybdän-Niob-Legierungsplatte wird in den folgenden Schritten verarbeitet: Zuerst mischen; zweitens das quantitative Molybdänpulver und das Niobpulver in mindestens drei kleine Teile aufteilen; und drittens: Mischen Sie jeden kleinen Teil des Molybdänpulvers und des Niobpulvers in die kleinen Teile des gemischten Pulvers. Zahlreiche kleine Stücke gemischten Pulvers werden zu gemischtem Legierungspulver synthetisiert, nachdem das Pulver mehrmals gesiebt und gemischt wurde.
Nachdem das Material isostatisch zu einem Legierungsbarren gepresst wurde, wird es anschließend geformt. Anschließend gelangt es in einen Hochtemperatur-Zwischenfrequenzofen, wo es unter Wasserstoffschutz gesintert wird. Es gibt drei Temperaturzonen zum Sintern: 0-800 Grad, 800-1600 Grad und 1600–2000 Grad. Es wird empfohlen, die Temperaturzone mindestens drei Stunden lang zu sintern, bevor sie in die Form eines Legierungsbarrens gesintert wird.
Anschließend erfolgt das Schmieden und Walzen. Nach dem Hochtemperaturschmieden bei 1.200–1.400 Grad zur Verdichtung wird es in einem Hochtemperaturofen auf 1.500–1.600 Grad erhitzt, um es entsprechend den Vorgaben zu einer Platte zu walzen. Nach dem Schneiden, Feinschleifen und maschinellen Bearbeiten erfolgt die Endbearbeitung. wird eine Abschlussplatte aus der Legierung Molybdän-Niob.
