Der Einfluss der Zielbindung und der Linerqualität auf die großflächige Beschichtung wird in diesem Artikel diskutiert. Einige Materialien mit geringer Zähigkeit, wie Metalle, Legierungen und Oxide, die zur Rissbildung neigen, werden während des Beschichtungsprozesses beeinträchtigt. Das rotierende Target wird während der Vorbereitung häufig an die Edelstahlauskleidung gebunden, und wenn es zu Rissen kommt, wird das Target typischerweise an die Kupferträgerplatte gebunden. Metallisches Indium oder andere Metallverbindungen sind die am häufigsten verwendeten Bindemittel.
Es kann bei einigen Problemen helfen, die mit der mangelnden mechanischen Festigkeit des Zielmaterials zusammenhängen, und außerdem verhindern, dass das Zielmaterial während des Transports unbeabsichtigt reißt. Um das Problem der begrenzten Nutzung großer Targets anzugehen, umfassen diese Techniken das Anspleißen von Targets an die Rückplatte. Dies kann einen ordnungsgemäßen elektrischen Kontakt und eine ordnungsgemäße Kühlung des Targetmaterials gewährleisten und außerdem vor Targetrissen und ungleichmäßigem Sputtern schützen.
Eine ungleichmäßige Wärmeleitfähigkeit führt zu einem ungleichmäßigen Zerstäuben des Targetmaterials (ungleichmäßige Filmbildung), ebenso wie Oberflächenknötchen und Entladungsphänomene. Darüber hinaus führt eine ungleichmäßige Filmbildung zu einer ungleichmäßigen Farbe der Filmschicht, was sich darauf auswirkt, wie sich die dielektrische Schicht je nach Endprodukt verändert. Erhöhen Sie natürlich die Anzahl des Beschichtungsausschusses. Dadurch haben die Bindungseigenschaften des Zielmaterials großen Einfluss darauf, wie es verwendet wird. Aufgrund der Wechselwirkung zwischen der thermischen Ausdehnung und Kontraktion des Zielmaterials und dem thermischen Ausdehnungskoeffizienten des Edelstahlrohrs wird die geometrische Die Größe einiger rotierender Targets aus Metall oder Legierung, die eine gute Wärmeleitfähigkeit haben, aber keine Bindung erfordern, wie ZnAl-, ZnSn- und SiAl-Targets, nimmt mit der Temperatur zu.
Der Regelmäßigkeitskoeffizient der Änderung und die Änderung unterscheiden sich voneinander, daher müssen bestimmte Verbindungsmaterialien zur Verbindung verwendet werden. Bei einer schlechten Mischung erwärmt sich das Zielmaterial ungleichmäßig, die Wärmeleitung wird behindert und es kommt zu Rissen und Abfallen geschehen. Diese Probleme wirken sich auf die Qualität und die Fähigkeit der Beschichtung aus, Waren herzustellen.
Im Allgemeinen weist das keramische Targetmaterial aufgrund der hohen Wärmeentwicklung des Targetmaterials während des Sputterprozesses eine schlechte Wärmeableitung auf. Es ist einfach, während des Sputterprozesses lokale Wärme zu erzeugen, wenn die Verbindung großflächig und schlecht ist. Indium, ein Bindungsmaterial mit niedrigem Schmelzpunkt, baut sich auf und schmilzt, was dazu führt, dass das Zielmaterial reißt oder sich sogar löst.
Die Zielbeschichtung hängt stark von der Bindung des Zielmaterials und dem Kaliber des Linerrohrs ab. Hier ist neben der Aufmerksamkeit auch die Professionalität des Teams gefragt, um die Hinterlegung eines wirkungsvollen Films zu ermöglichen.
