Die innere Struktur des Wolframtargets, die mit der aktuellen Pulvermetallurgietechnik erzeugt wird, erfüllt derzeit nicht die steigenden Anforderungen des Sputterprozesses an Homogenität und Korngröße. Im nächsten Abschnitt wird eine neuartige Technik zur Herstellung von Wolframtargets beschrieben.
1. Geben Sie Wolframpulver mit einer spezifischen Oberfläche von mindestens 1,1 mVg aus.
2. Versiegeln Sie das Wolframpulver vakuumversiegelt in einer Gummihülle mit einer Dicke von 3 bis 5 Millimetern oder einer Aluminiumhülle mit einer Dicke von 2,5 bis 3,{7}} Millimetern.
3. Die Gummihülle oder Aluminiumhülle wird in einen kaltisostatischen Pressofen gegeben, wo das Wolframpulver zunächst durch das kaltisostatische Pressverfahren verdichtet wird, um die erste verdichtete Gummihülle oder Aluminiumhülle zu erzeugen. Für den Wolfram-Target-Rohling liegt die kaltisostatische Presstemperatur bei Raumtemperatur, der kaltisostatische Pressdruck beträgt mindestens 150 MPa und der kaltisostatische Pressdruck wird ein bis zehn Stunden lang aufrechterhalten;
4. Die Gummi- oder Aluminiumhülle wird nach der ersten Verdichtungsbehandlung entfernt und der erste Wolfram-Target-Rohling wird dann einer zweiten Verdichtungsbehandlung unter Verwendung einer Induktionssintertechnik unterzogen, um einen zweiten Wolfram-Target-Rohling zu erzeugen. Sinterinduktion Das Verfahren wird in einem Induktionssinterofen durchgeführt, der mit einer Geschwindigkeit von 3 Grad/Minute bis 10 Grad/Minute erhitzt und dabei auf ein Vakuum von weniger als oder gleich 10-1Pa evakuiert wird;
5.Und halten Sie es dort 15 bis 20 Stunden lang während des Induktionssinterns;
6. Um ein Wolfram-Target herzustellen, wird der zweite Wolfram-Target-Rohling nach der zweiten Verdichtungsbehandlung der dritten Verdichtungsbehandlung durch heißisostatisches Pressen unterzogen.
Zur Durchführung des oben genannten Prozesses des heißisostatischen Pressens wird ein heißisostatischer Pressofen verwendet. Der heißisostatische Pressofen wird einer Vakuumbehandlung unterzogen, bis der Vakuumgrad kleiner oder gleich 100 Pa ist, und dann wird er auf eine bestimmte Temperatur eingestellt. Die Heizrate des heißisostatischen Pressofens ist auf 3 Grad/min bis 10 Grad/min geregelt, und die Temperatur des heißisostatischen Pressens liegt zwischen 1700 und 1900 Grad. Die Temperatur und der heißisostatische Pressdruck werden 2 bis 5 Stunden lang aufrechterhalten, und der heißisostatische Pressdruck beträgt mehr als oder gleich 180 MPa.
